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濕式靜電除塵器的基本原理和干式靜電除塵器的原理基本相同，都要經過荷電、收集和清灰三個階段。濕式靜電除霧（煙塵）器在高壓靜電作用下，電暈陰極線不斷放射出電子，使電極間氣體被電離成正負離子。粉塵、酸霧等與電子碰撞而發生荷電，按照同性相斥、異性相吸的原理，荷電后粉塵、酸霧會向與電極極性相反的電極移動。顆粒物、酸霧就會吸附到陽極壁上，通過噴淋塔系統將吸附在陽極壁上的粉塵、酸霧沖洗至設備底部而得以去除。
濕式電除塵器主要有兩種結構形式，一種是使用耐腐蝕導電材料（可以為導電性能優異的非金屬材料或具有耐腐蝕特性的金屬材料）做集塵極，另一種是用通過噴水或溢流水形成導電水膜，利用不導電的非金屬材料做集塵極。
濕式電除塵器還可根據廢氣流向分為橫流式（臥式）和豎流式（立式），橫流式多為板式結構，氣體流向為水平方向進出，結構類似干式電除塵器；豎流式多為管式結構，氣體流向為垂直方向進出。一般來講，同等通氣截面積情況下豎流式濕式電除塵器效率為橫流式的2倍。沉淀在極板上的粉塵可以通過水將其沖洗下來。濕式清灰可以避免已捕集粉塵的再飛揚，達到高的除塵效率。因無振打裝置，運行也較可靠。利用噴水或溢流水等方式使集塵極表面形成導電膜的裝置存在著腐蝕、污泥和污水的處理問題，僅在氣體含塵濃度較低、要求除塵效率較高時才采用；使用耐腐蝕導電材料做集塵極的濕式電除塵器不需要長期噴水或溢流水，只根據系統運行狀況定期進行沖洗，僅消耗極少量的水，該部分水可回收循環利用，收塵系統基本無二次污染。
根據廢氣的流向，濕式靜電除霧除塵器可分為橫向(水平)和垂直(垂直)兩種。橫向流動多為板狀結構，氣流方向為水平進出，結構與干式電除塵器相似。垂直流動多為管狀結構，氣流進出垂直方向。一般情況下，在相同截面積條件下，垂直流濕電除塵器的效率是橫流除塵器的兩倍。在盤子上沉積的灰塵可以被水沖走。濕式清灰可以避免收集到的灰塵再飛，并達到較高的除塵效率。由于無振動打漿裝置，操作也更可靠.該裝置存在腐蝕、污泥和污水處理等問題，只有在氣體含塵濃度低、除塵效率高的情況下，才能通過水噴霧或溢流在除塵器表面形成導電膜。濕式靜電除霧除塵器采用耐腐蝕導電材料作除塵器，不需要長期噴水或溢流。它只根據系統的運行情況定期清洗，耗水量很小。這部分水可以循環利用。除塵系統無二次污染。
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